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　　东说念主民财讯10月5日电，沈阳新松机器东说念主（300024）自动化股份有限公司（简称“机器东说念主”）已领有在真空类晶圆传输和大气类晶圆传输系列产物的饱和自主学问产权，自主攻克的新一代真空机械手手艺，性能对标海外先进产物，手艺联想从并排国际同类产物到终了部分联想的凯旋卓绝，大概为天下各地的半导体开发供应商提供高效和可靠的自动化贬责决策。

　　公司为寂静发展半导体装备业务，于2023年设置了沈阳新松半导体开发有限公司（简称“新松半导体公司”），新松半导体公司打造了领有饱和自主学问产权的自动化中枢系列产物，产物包括大气机械手、真空机械手系列、EFEM、真空传输平台，可世俗奇迹于硅片坐褥、晶圆加工、先进封装及封装测试等半导体制造全产业链，为客户产业链及供应链安全的踏实提供多元保险。

　　现在：（1）两轴、三轴真空直驱机械手产物全面导入终局FAB厂体育游戏app平台，已迈入先进制程产线示范期骗阶段；四轴真空直驱机械手已完成自主研发。（2）真空传输平台系列产物，包括真空直驱机械手、真空装载机（VPH）、真空预瞄准机（ALIGNER）已通过工艺开发厂客户端考证后随其批量导入FAB厂期骗。（3）大气类产物方面，现在开发前端模块（EFEM）、大气机械手已全面导入阛阓量产期骗。（4）零部件方面，集成产物包括立式炉，以及大气aligner、LOADPORT所构成的EFEM产物等已启动模块化及规范化定型，将徐徐终了由中枢零部件到集成产物的规范化。